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        Elegant DQ-Y200
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        Elegant DQ-Y200

        ELEGANT DQ系列是原磊纳米科技的成熟型ALD设备,拥有完全的自主知识产权,符合CE标准。该系列采用双腔设计,通过反应腔顶端的电控传输口可实现快速进出样,操作便捷。可以通过定制执行单片或批量处理,适合各类微纳薄膜的沉积。
        零售价
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        产品编号
        所属分类
        研发型机台
        数量
        -
        +
        库存:
        0
        1
        产品描述

        技术指标:
        样品:最大8英寸(单片),向下兼容
        工艺温度:RT~350℃
        前驱源管路:最大6路独立管路,可定制
        低压源加热系统:包含源瓶和管路,RT~200℃
        真空系统:高性能机械泵,可定制半导体级分子泵
        生长模式:正常生长、停留生长
        控制系统 :自主研发操作系统 + 触摸屏
        电源: 50-60Hz, 380V/20A交流电源
        均匀性:Al2O3非均匀性<±1%

        应用实例:
               High-k栅氧化层,超级电容器介电材料,高深宽比(如TSV)结构种子层或阻挡层,MEMS中的压电材料,减反射或高通透光学镜片膜,太阳能电池的钝化层和载流子传输层,平板显示器,其它各类特殊纳米薄膜。

        Elegant DQ-Y200

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        Elegant DQ-Y200
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