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        Al2O3 PE_ALD
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        Al2O3 PE_ALD

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        详情描述

        测试样品所在衬底大小

        4 英寸、6 英寸、8英寸

        薄膜种类

        Al2O3

        工艺类型

        PE_ALD

        样品所处温度范围

        高低温均可(详细要求请留言)

        样品所处功率范围

        低功率

        致密度

        通过KHF侵蚀实验效果优异

        表面粗糙度Ra

        0.19

        1-σ(%)

        <2

        GPC/(A°)

        0.94 

         

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