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        橢偏儀整合loaderlock
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        橢偏儀整合loaderlock

        根據客戶需求提供橢偏儀整合全自動loaderlock設計,能夠在工藝完成后,在真空環境下隨即快速測量鍍膜厚度及均勻度等數據。避免晶圓鍍膜材料被大氣污染,同時可以提高鍍膜效率。
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        所屬分類
        量身定制
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        產品描述

          根據客戶需求提供橢偏儀整合全自動loaderlock設計,能夠在工藝完成后,在真空環境下隨即快速測量鍍膜厚度及均勻度等數據。避免晶圓鍍膜材料被大氣污染,同時可以提高鍍膜效率。

         

        橢偏儀整合loaderlock

        關鍵詞:
        橢偏儀整合loaderlock
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